В 2026 году заказчикам может быть поставлено пять таких систем
Процессоры1928 июл 08:58
Китай начал серийное производство собственных иммерсионных DUV-литографов — оборудования, которое считается одним из ключевых элементов современного производства микросхем. Как сообщает The Information ссылаясь на свои источники, первые установки планируется поставить крупнейшим китайским производителям чипов — SMIC, Hua Hong Semiconductor и ChangXin Memory Technologies (CXMT) уже в этом году.
Согласно данным издания, в течение 2026 года производитель планирует выпустить около пяти таких машин, а в 2027 году увеличить объем производства примерно до двадцати установок.
Официальное название компании не раскрывается. Тем не менее, источники утверждают, что проект разрабатывался с участием нескольких китайских компаний, включая государственный стартап Shanghai Yuliangsheng Technology. Упоминается, что опытный образец иммерсионного DUV-литографа проходит испытания на площадке SMIC с сентября 2025 года.
Большая часть компонентов нового оборудования изготавливается внутри Китая, хотя некоторые критически важные узлы закупаются в Японии. Именно сложности с поставками этих компонентов пока ограничивают темпы серийного производства.
Иммерсионная DUV-литография является одной из самых сложных технологий, используемых для производства современных микросхем. Такие установки позволяют создавать чипы по техпроцессу около 28 нм за один цикл экспозиции, а при применении технологии многократной экспозиции (multiple patterning) способны производить микросхемы уровня примерно 7 нм.
Запуск собственного производства литографов происходит на фоне усиливающегося давления со стороны США. В настоящее время в Конгрессе рассматривается законопроект MATCH Act, который может запретить нидерландской компании ASML не только поставлять новые иммерсионные DUV-системы китайским предприятиям, но и обслуживать уже установленное оборудование. В числе компаний, которые могут быть потенциально затронуты MATCH Act, как раз фигурируют SMIC, Hua Hong и CXMT.
DexterИсточники:Toms HardwareПроцессоры19SMICCXMT28 июл 08:58
Источник