Оборудование должно заменить иностранные аналоги и обеспечить серийное производство микросхем.
Минпромторг России выделит более 1,4 млрд рублей на разработку отечественного оборудования для микроэлектроники. Речь идет о создании автоматизированной установки для жидкостной химической обработки кремниевых пластин, которая должна заменить применяемые в настоящее время иностранные аналоги.
Согласно документации, стоимость проекта составляет более 1,43 млрд рублей. Новая установка будет предназначена для автоматического выполнения операций травления, очистки и сушки кремниевых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм, используемых при производстве микросхем.
Оборудование должно обеспечивать обработку не менее 100 пластин за один цикл. При этом установка будет работать как минимум с восемью различными химическими реагентами и деионизированной водой, автоматически подбирая необходимый состав в зависимости от технологического процесса.
Как указывают эксперты, подобные установки крайне важны для серийного производства микросхем. Во время жидкостного травления поверхность кремниевой пластины обрабатывается химическим раствором, который равномерно растворяет материал. По словам руководителя проектов компании «Интеллектуальная аналитика» Тимофея Воронина, данная технология позволяет быстро удалять толстые слои материала, очищать пластины от органических загрязнений и избирательно вытравливать различные материалы без образования дополнительных дефектов.
Одним из основных требований проекта станет максимальная локализация производства. В конкурсной документации указано, что ключевые узлы установки должны быть изготовлены в России. Использование импортных комплектующих допускается только после согласования с заказчиком.
Работы по созданию оборудования планируется завершить до 30 ноября 2029 года. Победителя конкурса определили 19 июня, однако его название в Единой информационной системе в сфере закупок не раскрывается.
Фото: hi-tech.mail.ru