Разработка под названием «Изофаз-Д» впервые была представлена на международной выставке ExpoElectronica 2026, проходившей с 14 по 16 апреля в Москве.
Научно-исследовательский институт точного машиностроения (НИИТМ) впервые представил установку «Изофаз-Д», предназначенную для плазмохимического осаждения диэлектрических слоев на кремниевых пластинах. Устройство было привезено на выставку ExpoElectronica 2026. Как отметил автор проекта в беседе с изданием «Телеспутник», данная технология является первичным этапом в производстве микросхем, что делает её необходимой для развития отечественной микроэлектроники.
«Изофаз-Д» функционирует в автоматическом режиме: установка загружает пластины диаметром 100, 150 и 200 мм, после чего выполняет вакуумирование и обработку. При этом компоновка установки модульная, образец состоит из рабочего реактора, камеры охлаждения и системы ориентирования. Процесс осаждения диэлектрических слоев осуществляется в рабочей камере при нагреве в глубоком вакууме. Внутрь подаются необходимые газы, включается генератор, зажигается плазма и начинается реакция.
Как уточнил главный технолог НИИТМ Денис Костюков, этот процесс является одним из ключевых этапов в производстве микроэлектроники. В его рамках на поверхность кремниевых пластин наносится тончайший слой изолирующего материала, который предотвращает утечку тока между миллиардами транзисторов на чипе. Чем более равномерным будет осаждение, тем выше быстродействие и надежность. Установка «Изофаз-Д» способна осаждать пленку даже на структуры с «развитыми рельефами».
Тем временем в России предложен план по мягкой локализации отрасли печатных плат, в рамках которого специалисты стремятся сформировать устойчивый спрос на отечественные материалы.
<div class="mediaPollEmbed" data-prerendered><noscript><section><h2>Как вы смотрите кино? Опрос для любителей фильмов и сериалов</h2><p>11 вопросов</p><form method="POST" action="https://media-poll.mail.ru/api/a1f75bb3-99c9-5cec-ace0-7f9b1cf9dabc"><fieldset><legend>Как часто вы смотрите фильмы и сериалы онлайн?</legend><label><input type="radio" name="25266" value="90522"/>Ежедневно</label><br/><label><input type="radio" name="25266" value="90523"/>Несколько раз в неделю</label><br/><label><input type="radio" name="25266" value="90524"/>Несколько раз в месяц</label><br/><label><input type="radio" name="25266" value="90525"/>Несколько раз в год</label><br/></fieldset><button type="submit">Далее</button></form></section></noscript></div><script type="text/javascript">(function(window){var mediaPoll=(window.mediaPoll=window.mediaPoll||{});var container=document.currentScript.previousElementSibling;var uuid="a1f75bb3-99c9-5cec-ace0-7f9b1cf9dabc";mediaPoll.loadAPIPromise=mediaPoll.loadAPIPromise||new Promise((resolve,reject)=>{const loadScript=(onload,onerror)=>{var head=document.getElementsByTagName('head')[0];var script=document.createElement('script');script.async=true;script.onload=onload;script.onerror=onerror;script.src='https://media-poll.mail.ru/-/1776246135099/embed/main.js';head.appendChild(script)};loadScript(resolve,()=>{mediaPoll.loadAPIPromise=null;reject()})});mediaPoll.loadAPIPromise.then(()=>{window.mediaPoll.render(uuid,container)})})(window)</script>
Фото: hi-tech.mail.ru